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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
WD-TSC150T小巧型4寸匀胶机
WD-TSC150T小巧型4寸匀胶机图片
型号: WD-TSC150T
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型号:WD-TSC150T
仪器类型:匀胶机
产品介绍

产品优势:

1.彩色触摸屏控制,马达功率100W,同类型最大

2.具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序5步,运行参数如转速、转动时间可实时显示

3.PP材料旋涂内腔,耐腐蚀,采用分体式结构,易清洁和移动

4. 4.3英寸彩色触屏控制,易学易用

5. 内腔直径150mm,内腔采用独特的凹面防溅设计

6.采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂

7.具有电机进胶保护功能,管路易疏通设计

技术参数:

适用晶元尺寸范围:Ø 5~100mm

旋涂速度:100~10000rpm

转速分辨率:1rpm

旋涂加速度:100-10000rpm/s

最大旋涂时间:3000s

旋涂时间精度:0.1s

内腔直径150mm,内腔采用独特的凹面防溅设计

具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序5步

电源输入:AC200-230

产品外型尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H)

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