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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
WD-TSC280T大型专业8寸匀胶机
WD-TSC280T大型专业8寸匀胶机图片
型号: WD-TSC280T
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型号:WD-TSC280T
仪器类型:匀胶机
产品介绍

特点:

1.7寸触屏+进口电机操作方便,质量更稳定

2.吸盘平整度精细加工平磨,均匀性更好,可达1%以内

3.电气元器件独立集成在机身侧面空间,有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风险

4.配置光胶过滤器和废液桶,清洗保养更方便,及时清理避免堵胶带来飞片风险

5.有真空负压数值显示和低真空报警装置,有效提醒因负压不足带来飞片风险

6.提供工艺支持,避免购买不适宜产品带来损失风险

参数:

型号WD-TSC- 280T
适用晶元尺寸范围Up to Ф200mm
腔体直径280mm
转速20~10000RPM
转速精度±1RPM
旋转加速度≤10000RPM/S
最大旋涂时间1-999.9S
控制方式7寸触屏+PLC
滴胶方式手动
电机功率400W
控制程序50组20 段,每一段数均可设定加速度及时间控制
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