产品特点：

1. 7寸触屏+进口电机和PLC控制，操作方便，质量稳定；

2. 整机采用镜面不锈钢外壳，标准半导体洁净室装配，环保且用料扎实、机身重量更重、 电机功率更大、有效保障运行过程中平稳几乎无震动

3. 吸盘平整度精细加工平磨，吸盘表面平坦度 10um 以内。配合精密数控机床精加工电机轴，均匀性更好；

4. 电气元器件独立集成在机身侧面，有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风险；

5. 配置光胶过滤器和废液桶，清洗保养更方便，及时清理避免堵胶带来飞片风险；

6. 有真空负压数值显示和低真空报警装置，有效提醒因负压不足带来飞片风险；

7. 针筒式滴胶节省溶液、无气泡、易清洁、无漏液。

参数：

1.适用基板尺寸: 6、 8英寸晶圆

2.操作界面: 7 寸全彩触摸屏

3.可存储50组配方，段数设定:每一配方模块均设 20 段数，每一段数均可设定加速度、减速度及时间控制

4.腔室材质为PTFE

吸盘材质为铝制吸盘阳极硬化处理

5.马达转速 : Max.20～10000rpm

马达功率：750W

马达转速精确度 : ±1rpm

旋涂加速度 : Max1,0000rpm/sec

旋涂减速度：Max1,0000rpm/sec

6.滴胶系统：供液容器:美式针筒一路

供液方式: 压力方式, 自动供液

供液压力范围: 0.1～0.5 MPa

针筒容量:100ml

7.设备尺寸：650mm*500mm*400mm