威德真空热蒸发镀膜仪WD-EDI280适用于金属、有机薄膜等科研及教学场景，紧凑高效，操作便捷，支持100mm旋转工件。极限真空6×10⁻⁵Pa，30分钟抽至8×10⁻⁴Pa。配置2对电阻蒸发源(2kW)、石英膜厚仪实时监测，触屏一键操作。4L机械泵+300L分子泵系统稳定高效。

一、设备结构介绍：

该设备由真空室、真空机组和电气系统组成

1. 真空室

圆形形腔体，侧部抽气，正面开门。不锈钢材质，配φ100观察窗(含防污挡板)、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源(两组蒸发源相互隔离避免交叉污染)，蒸发源上配有手气动挡板装置等；

2. 真空系统及进气

采用300L分子泵+4L旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表；

3. 电气系统

系统采用触摸屏控制，抽真空可以一键式操作，电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。

二、主要技术参数：

1. 真空室：∅280mm*H420mm；

2. 最大可镀工件直径：100mm,配样品挡板，样品可旋转；高度250～350mm可调；

3. 极限真空度：优于6*10-5Pa(分子泵系统)；

4. 抽气时间：大气压～8*10-4Pa小于30min；

5. 蒸发：电阻式蒸发电极(2对) 功率：2KW；配备1套数显蒸发电源，可对两组蒸发源进行切换使用。

6. 开启方式：正面开门结构，便于换丝及装料；

7. 真空系统：4L机械泵+300L分子泵系统；

8. 膜厚测量：配备一套石英晶振膜厚测量仪，可在线监测镀膜速率与镀膜厚度

8. 控制系统：采用触摸屏控制，抽真空及关机可一键操作。